在大多數潔凈室中粒子和纖維都是環境污染的主要來源。所以，應避免在生產工藝中使用容易破損或散發粒子的材料。其表面帶有粒子和纖維的材料也應避免使用。
在半導體工業中，產品表面的化學品和空氣環境中的某些氣體分子可能形成的化合 物，會沉積在半導體的表面上，它們可能影響產品質量，甚至損壞半導體芯片。
在一些潔凈室中，那些無法將靜電不斷地傳導開的材料，可能會因為靜電荷的積累和放電使那些對靜電敏感產品會受到損壞。此外，靜電還會使材料產生靜電吸附效應而吸附粒子，造成污染問題。
選擇用于潔凈室內的生產材料，不僅僅要著眼于適合于生產工藝，而且也應關注是否有可能產生污染。顯然對那些既可能構成污染，但又是生產所需的材料和物品，只有在缺之不可的情況下才能使用，或只有在已經充分認識到了這些材料產生污染的問題，并考慮了其他替代材料但又確實都不適合后，才可使用。
以下所列舉的部分乃至全部物品，因其會造成潔凈室的嚴重污染，根據產品對污染的敏感性不同，一般禁止在潔凈室中使用。
1) 非潔凈室專用紙，如果一定要使用普通紙，應將其放入塑料袋內或采用雙面熱塑；
2) 鉛筆與橡皮、墨水中含有污染潔凈室環境的化學品、纖維頭書寫筆或者會劃紙的圓珠筆、修改液；
3) 用低碳鋼或其他會生銹、磨蝕、氧化的材料制成的物品；
4) 用機器加工或處理時會冒煙或破損的物品；
5) 用木頭、橡膠、紙張、皮革、毛、棉及其他天然材料制成的易破損物品；
6) 研磨材料或粉末、產生氣溶膠的瓶瓶罐罐。

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