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電子制造業(yè)無(wú)塵室的特點(diǎn)及規(guī)定
日期：2025-08-01 13:21
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摘要：
? ? 隨著計(jì)算機(jī)、微電子和信息技術(shù)的發(fā)展，推動(dòng)了電子制造業(yè)的飛速發(fā)展，也帶動(dòng)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展，同時(shí)對(duì)無(wú)塵室的設(shè)計(jì)提出了更高的要求，電子制造業(yè)的無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合的技術(shù)，只有充分了解電子制造業(yè)的無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)特點(diǎn)，做到設(shè)計(jì)合理，才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低，提高生產(chǎn)效率。下面由深圳金光華凈化為大家介紹一下關(guān)于電子制造業(yè)無(wú)塵室的特點(diǎn)及規(guī)定:
潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、無(wú)塵室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類(lèi)無(wú)塵室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō)，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺(jué)舒適。
芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間是屬于電子制造行業(yè)無(wú)塵室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
1、電子制造廠萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)、
2、電子制造廠無(wú)塵室垂直流無(wú)塵室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流無(wú)塵室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。
3、電子制造廠無(wú)塵室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
4、電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的*大值：補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
5、保證供給無(wú)塵室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
6、電子制造行業(yè)無(wú)塵室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量，應(yīng)取下面三項(xiàng)*大值：保證電子制造廠無(wú)塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量；根據(jù)熱，濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠無(wú)塵室的送風(fēng)量；向電子制造廠無(wú)塵室內(nèi)供給的新鮮空氣量。
潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、無(wú)塵室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類(lèi)無(wú)塵室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō)，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺(jué)舒適。
芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間是屬于電子制造行業(yè)無(wú)塵室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
1、電子制造廠萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)、
2、電子制造廠無(wú)塵室垂直流無(wú)塵室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流無(wú)塵室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。
3、電子制造廠無(wú)塵室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
4、電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的*大值：補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
5、保證供給無(wú)塵室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
6、電子制造行業(yè)無(wú)塵室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量，應(yīng)取下面三項(xiàng)*大值：保證電子制造廠無(wú)塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量；根據(jù)熱，濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠無(wú)塵室的送風(fēng)量；向電子制造廠無(wú)塵室內(nèi)供給的新鮮空氣量。