無塵車間標準等級定義

Class X (at Y μm )

其中X是無塵車間的等級，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復選。意思就是使用者規定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。

以下是幾個例子：

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

Class 100(0.2μm , 0.5μm )

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

在Classes 100 (M3.5) and Greater ?(Class 100，1000，10000....)，一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) ?(Class 10，1.... )，一般要看多幾個粒徑。

**個是規定無塵車間的狀態，例如：

Class X (at Y μm )，At-rest

第三個是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時無塵車間都很干凈，微粒控制能力測試不易，這時可以干脆把驗收上限壓低，例如：

Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built

Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built

這樣做的目的是確保無塵車間在Operational狀態時，依然有足夠的微粒控制能力。

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二、無塵車間等級標準劃分

潔凈度等級標準ISO14644根據懸浮粒子濃度這個**指標來劃分潔凈室（區）及相關受控環境中空氣潔凈度的等級，并且僅考慮粒徑限值（低限）0.1um～0.5um范圍內累計分布的粒子群。根據粒子徑，可以劃分為常規粒子（0.1um～0.5um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。

空氣潔凈度分級標準：ISO14644-1（國際標準）

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有很多用戶一般不太清楚哪個等級的無塵車間*干凈，是千級或者萬級嗎？不是的，要說*干凈的無塵車間要當屬百級無塵車間了。一般來說無塵車間根據潔凈等級劃分可以分為：百級無塵車間、千級無塵車間、萬級無塵車間、十萬級無塵車間。級別越低、潔凈度等級越高。

各個級別的無塵車間應用如下

十萬級無塵車間：十萬級無塵車間可用于很多的工業部門，比如光學產品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統，液壓或氣壓系統的制造，食品飲料的生產，醫、藥工業也常常使用這**無塵車間。

萬級無塵車間：萬級無塵車間常用于液壓設備或氣壓設備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業，此外，萬級無塵車間在醫工業中也很常用。

千級無塵車間：這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產，還用于測試，裝配飛機蛇螺儀，裝配高質微型軸承等。

百級無塵車間：百級無塵車間可用于醫藥工業的無菌制造工藝等，這**別無塵車間大量應用于植入體內物品的制造，如外科手術，包括移植手術，集成器的制造，那些對**感染特別敏感的病人的隔離**，比如像骨髓移植病人術后的隔離**。

無塵車間清潔

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一、所需清潔工具及產品

（1）、潔凈室專用吸塵器

（2）、潔凈紙、無塵布

（3）、去離子水

（4）、酒精

（5）、水桶

（6）、拖把

（7）、拖把專用桶

二、清潔要求

（1）、清潔潔凈室內的墻時應使用潔凈室無塵布；

（2）、用90％去離子水和10％的異丙醇配置清潔劑；

（3）、使用已獲批準的潔凈室專用去污劑；

（4）、每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。

（5）、每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結束從哪開始。

（6）、清潔潔凈室的地面應使用專用拖把。

（7）、在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器。

（8）、所有的門都需要檢查并擦干

（9）、吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。

（10）、架空地板下也要吸塵及擦拭。

（11）、三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。

（12）、工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門*遠的地方向門的方向擦。

三、潔凈室的清潔程序

（1）、更換好專用防靜電服，戴好帽子、口罩，經風浴吸塵通道除塵后，進入潔凈室。

（2）、準備好清潔工具及用品并放置在規定地點后，開始清潔工作。

（3）、撿拾地面垃圾，按生產線排列次序由里向外逐一進行。

（4）、按時傾倒清運垃圾桶、垃圾箱內垃圾，并進行檢查，按規定嚴格分類后，經生產線管理員或保安檢查后運送到指定的垃圾房

內分類放置。

（5）、由上向下使用潔凈紙或無塵布清潔室內玻璃、墻面、貨架、

（6）、使用潔凈塵推由里向外小心進行地面推塵、保潔。地面有垃圾、污跡、水跡等及時用無塵布清潔干凈。

（7）、利用生產線員工休息就餐時間對生產線、工作臺下、坐椅下地面進行清理。

（8）、定期清潔天花板、空調出風口、頂燈隔罩、高架地板下,清潔程序和使用的材料必須申請廠務部批準，并利用節假日及休工間

隙按計劃進行。

（9）、潔凈室地面打蠟需嚴格按計劃及清潔程序進行，必須使用防靜電蠟。

（10）、清潔工作完成后需將所有清潔用品收到指定清潔間，與普通工具區別存放，避免交叉污染，整齊擺放，不得隨意亂放在潔凈

室內。

四、注意事項

（1）、必須丟棄膨松的頭罩、面罩、胡須罩、鞋罩和膠乳手套，決不可再次使用。

（2）、員工著裝、準備工作要求。

（3）、不允許有私人物品，如大衣、帽子、錢包、鑰匙 。

（4）、員工應當更換針對帶來污染的衣服和飾品。

（5）、員工應當穿著無塵室兜帽、手套、兔皮服和襪子。破損或被污染的罩衫或罩袍應當立即更換。著裝應符合規定的著裝步驟。

（6）、不允許有任何普通的紙墊、筆記本、手冊和寫字板；不允許有普通的書寫用鉛筆、鋼筆、橡皮、蠟筆或粉筆；筆記棉絨紙、塑料紙等類似的紙上，同時使用圓珠筆或其它不產生粉塵的用具；藍線印記、規格或其它說明上應當覆有塑料膜、棉絨或其它不產生粉塵的用具。

清潔要求及檢查標準

1．地板每天一次使用真空吸拭及吸水專用拖把拖干凈

目視狀況不可有任何污漬及水痕

2．墻面每周一次墻面每周一次以燈光照不可有任何污漬及水痕

以燈光照不可有任何污漬水痕

3．室內所有門窗及扶手玻璃每周一次以無塵布擦拭不可有塵埃

以燈光照不可有任何污漬及水痕

門把手、鐵鏈等金屬物不可生銹或污漬

4．電話、對講機、滅火器每周一次以無塵布擦拭不可有塵埃

目視狀況下不可有污漬

5．垃圾桶每天二次

定時清理垃圾及更換垃圾袋

垃圾高度不可超出桶高

6．腳踏墊不定時換新及補充

不可太臟致無法使用（嚴重臟污或無粘性）有臟污隨時更新

7．樓梯間每天一次

地板使用di水專用拖把拖干凈

目視善不可有污漬及化學品、紙箱等殘留

以無塵布擦拭不可有塵埃

8．無塵衣不銹架個人無塵衣架每天二次以無塵布擦拭不可有塵埃

個人衣柜上不可放置任何物品

9．物料進出拆卸區每天二次地板以真空吸拭及拖把擦拭干凈不可有紙箱及化學品等滯留

門板、墻板以無塵布擦拭不可有污漬及塵埃

10．更衣室無塵衣無塵鞋不定時不定時整理及分類擺放定位不可有非相關性物品滯留無塵衣、鞋每周進行一次更換作業及點收以無塵布擦拭不可有塵埃，地板以真空吸拭及專用拖把擦拭干凈耗材如口、發罩，手套等物品不定時補充

11．鞋柜區每天一次用吸水專用拖把擦拭干凈，墻板不可有任何污漬痕

鞋柜以無塵布擦拭干凈，墻板不可有除臭擠以外之異味

12清潔用品工具儲存區每周一次外柜以無塵布擦拭不可有任何塵埃

內部用具是否清潔，擺放整齊無污漬

13．洗塵室每天一次以無塵布擦拭不可有塵埃

目視不可有污漬及水痕

14．回風室每周一次回風室每周固定一用吸塵器及吸水專用拖把使用真空吸拭及吸水專用拖把拖干凈

目視狀況下不可有污漬及水痕

進入無塵車間注意事項：

1、在潔凈室內走動時動作宜輕不得奔跑，以避免影響層流。

2、在潔凈室內工作，若暫停操作時不可以脫口罩及手套做短暫休息。

3、進入潔凈室時須先經過洗塵室。

4、進入潔凈室工作人員必須穿著合身之無塵衣服及鞋子。

5、設備維修如有必要坐、臥或躺時，須于地上鋪上專有之塑料布。

6、脫除無塵衣須先脫除：口罩、無塵鞋、無塵衣、發罩、手套、并依標示分類擺放或丟棄。

7、口罩的正確扣戴方式是以無塵衣頭罩后面上方扣帶扣戴。

8、潔凈室工作人員不可攜帶非無塵筆記本進入潔凈室。

9、潔凈室內不得使用鉛筆、書寫一律使用原子筆，書寫錯誤時也不可以用修正液修改。

10、著無塵衣之要**遮口遮鼻、頭發不得外露、衣袖、口須包住手套口、避免手腕外露。

11、潔凈室內高架地板不可隨意拉啟，以免影響層流及人員**。

12、著裝完后，不可進入監控室。

13、進入晶圓區工作同人均不得使用化妝品（如口紅、腮紅、香水等）。

14、進入洗塵室注意事項：不可并行，兩人身體須保持30公分以上，雙手插腰，慢速通過，嚴禁奔跑。

15、降低微塵之方法是：保持頭、手、身上干凈。

16、于洗塵室內洗塵時，兩人身體前后須保持30公分以上。

17、穿著無塵衣之前需先扎好頭發然后戴上發罩。

18、人是潔凈室*大污染源。

19、著無塵衣之*后一個動作是檢查服裝。

20、下列文具不是潔凈室專用：水性簽字筆、鉛筆、修正液、影印紙。

21、進入潔凈區所有人員均不得食用任何東西（如：口香糖）

22、任何人不得把于工作無關、不能帶入潔凈室的物品放在無塵衣的袋子里。

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