凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，優(yōu)選應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高，凈化車間必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。

例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。凈化車間凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或**耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種凈化車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻(cooling)水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故，相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

然而對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓），凈化車間壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：
1.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。潔凈室車間凈化工作原理為當(dāng)控制器接通電源時(shí)，油霧分離器口產(chǎn)生強(qiáng)大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內(nèi)。在油霧分離器內(nèi)風(fēng)輪的作用下發(fā)生碰撞，使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒，在高效吸霧材料的阻擋下實(shí)現(xiàn)空氣與水的分離。
2.相通凈化車間之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。
3.車間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或**耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量(定義:單位時(shí)間內(nèi)空氣的流通量)，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。