足夠的通風換氣量是為了稀釋和排除室內污染空氣，根據不同的潔凈度要求，當潔凈室凈高較高時，適當增加換氣次數。其中，100萬級潔凈室的通風量是按高中效凈化系統考慮，其余均按高效凈化系統考慮；當10萬級潔凈室高效過濾器集中布置在機房或系統末端采用亞高效過濾器時，可適當提高換氣次數10-20%。

美國聯邦標準(FS209A~B)在1987年10月27日之前一直這樣規定：單向流潔凈室通過潔凈室截面的氣流速度通常保持在9Oft/min(0.45m/s)，在整個房間無干擾的條件下，其速度不均勻度在士20%以內，氣流速度任何明顯的下降都會增加自凈時間和工作位置之間污染影響的可能性(1987年10月FS209C頒布之后對含塵濃度以外的所有參數指標均未作規定)。

在編制我國空氣潔凈技術措施時曾調查測定了國內100多個潔凈室，許多潔凈室還是在動態下檢測的，結果表明：10萬級≥10次/h、1萬≥20次/h、1000級≥50次/h通風量即可滿足要求。

美國聯邦標準(FS2O9A~B)規定：非單向流潔凈室(10萬級、1萬級)，室高8~l2ft(2.44~3.66m)，通常考慮全室至少每3分鐘換氣一次(即20次/h)。因此，設計規范的規定已經考慮了較大的富裕系數。

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